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製品概要
製品の特徴
対応可能なウェーハ直径：4インチ、6インチ、8インチ／8インチ、12インチ；
取り扱い方法：ウェーハの手動設置および取り出し；
接合方法：真空接合；
ステージ：1種類のサイズのウェーハに対して1つのステージ；
制御ユニット：PLC制御に基づき、7インチのタッチスクリーンを搭載。
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上海市閔行区金都路1165弄南方都市園6号楼
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