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製品概要
製品の特徴
JEL SVCR3260ウェーハロボットアームの特徴：
真空3軸円筒座標型ロボットアームSVCR3000シリーズ。真空チャンバー内のウェーハ搬送に適しています；
SVHRシリーズのロボットアームと比較して、搬送可能な質量が2倍に向上し、コストパフォーマンスに優れています；
さらに、SVHRシリーズのロボットアームとの互換性も維持しており、顧客が設備のアップグレードや改造を容易に行えます；
ロボットアームの標準アーム長：160mm、190mm、260mm、330mm；
アームの関節部には磁性流体シール装置を使用；
真空シール：磁性流体シール装置と蛇腹管；
クリーン度向上の方法：アーム内部の排気口に5µm級フィルターを設置；
動作モニターを装備：
制御通信方式：RS232CおよびパラレルI/O方式；
全軸に2相ステッピングモーターを採用：
S字曲線加減速制御方式により、高速かつ高精度で半導体ウェーハを搬送可能；
2相ステッピングモーターの仕様をオプションで選択可能：
指の材質：CFRP（炭素繊維）、アルミ合金、高純度セラミックなど多様な材質から選択可能；
ウェーハ固定方式：下支え式で、ウェーハの自重を利用したエッジクランプ式；
搬送物や顧客の設備レイアウトの実情に応じて指を提供可能。
製品仕様
| 使用環境 | 真空部：温度 15℃～50℃ 駆動構造内部：クリーンルーム内の大気環境 温度 15℃～40℃ |
| アーム | 単腕 |
| 到達距離 | 520mm（アーム第3関節中心到達距離） |
| 昇降軸最大行程 | 20mm / 40mm |
| 搬送可能質量 | 2kg（アーム第3関節基準） |
| 製品型番 | 昇降軸最大行程 |
| SVCR3260-020-PM | 20mm |
| SVCR3260-040-PM | 40mm |
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