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製品概要
製品の特徴
JEL SCR3160CSNウェーハロボットアームの特徴：
クローズドループ制御方式のロボットアームに疑似多軸仕様を追加
水平移動軸がなくても並列配置の開閉安全扉台に搬送可能で、レイアウト設計の自由度が高くコスト削減に貢献
スーパークリーンルームの要求に適した3軸円柱座標クリーンロボットアーム
高いコストパフォーマンスと高速伝送特性を維持しつつ、ステッピングモーターの一般的な脱ステップ問題を解決
2インチ～300mmウェーハ搬送に適した新型シングルアームロボットアーム
負荷の急変や加減速が大きい場合でもモーターの脱ステップを防止できるクローズドループ制御方式を採用
ロボットアームの信頼性を効果的に向上
モーターに絶対値エンコーダを搭載し、ロボットアームはどんな状況でも自身の現在位置を把握可能
ロボットアームの各動作軸が自身の位置原点を探す時間を短縮
絶対値エンコーダは機械式で、電池交換不要
旧型の当社製品と互換性あり（取り付け寸法、性能交換可能）、既存設備のアップグレードが容易
高強度アーム・第3関節部は3kgの力に耐えられる（手首機構モジュール、指、ウェーハの質量を含む）
ロボットアーム標準アーム長：100mm、130mm、160mm、200mm
設備レイアウトに応じてベース固定方式またはフランジ固定方式を選択可能
ベルヌーイ方式の指（オプション）を選択可能
製品仕様
| 使用環境 | クリーンルーム内の大気環境 |
| 腕 | 単腕 |
| 到達距離 | 340mm（腕の第3関節中心到達距離） |
| 昇降軸最大行程 | 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm |
| 搬送可能質量 | 3kg（腕の第3関節基準） |
| 製品型番 | 昇降軸最大行程 |
| SCR3160CSN-200-CM | 200mm |
| SCR3160CSN-300-CM | 300mm |
| SCR3160CSN-400-CM | 400mm |
| SCR3160CSN-450-CM | 450mm |
| SCR3160CSN-500-CM | 500mm |
製品の利点
適用分野
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電話番号：+00852 61187991
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