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製品概要
製品の特徴
JEL SWCR3160CSウェーハロボットアームの特徴：
防水3軸円柱座標型ロボットアームSWCR3000シリーズ（300mmウェーハ反転機構＋エッジクランプ機構搭載）；
保護等級IP64のLSI半導体製造工程条件下で、酸性およびアルカリ性環境で半導体ウェーハの搬送が可能；
アーム部分はテフロンコーティングを採用し耐腐食性を保証；
アーム関節部の防水構造にはV型シールリングを使用；
部品間の接合面にはViton製のシールストリップを使用；
Z軸の防水構造には蛇腹管を使用可能；
動作モニターを搭載：
制御通信方式：RS232CおよびパラレルI/O方式；
全軸に2相ステッピングモーターを採用；
S字曲線加減速制御方式により高速かつ高精度に半導体ウェーハを搬送可能；
ウェーハ固定方式：真空吸着式、下支え式、エッジクランプ式；
搬送物や顧客設備のレイアウトに応じて指を提供可能。
製品仕様
| 使用環境 | クリーンルーム内の大気環境 |
| アーム | 単腕 |
| 到達距離 | 312mm（アーム第3関節中心到達距離） |
| 昇降軸最大行程 | 200mm / 300mm |
| 搬送可能質量 | 3kg以下（アーム第3関節基準） |
| 製品型番 | 昇降軸最大行程 |
| SWCR3160CS-200-PM | 200mm |
| SWCR3160CS-300-PM | 300mm |
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