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製品概要
製品の特徴
JEL STCR4160SNウェーハロボットアームの特徴：
閉ループ制御方式のロボットアームに疑似多軸仕様を追加；
水平移動軸がなくても、並列配置された開閉安全扉台に搬送可能で、レイアウト設計の自由度が高くコスト削減；
超クリーンルーム要求に適した4軸円柱座標クリーンロボットアーム；
高いコストパフォーマンスと高速伝送特性を維持しつつ、ステッピングモーターの一般的な脱ステップ問題を解決；
2インチ～300mmウェーハ搬送用の新型双腕ロボットアーム；
負荷の急変や加減速が大きい場合でもモーターの脱ステップを防止できる閉ループ制御方式を採用；
ロボットアームの信頼性を効果的に向上；
モーターに絶対値エンコーダを搭載し、ロボットアームはどんな状況でも自身の現在位置を把握可能；
ロボットアームの各動作軸が自身の位置原点を探す時間を短縮；
絶対値エンコーダは機械式で、電池交換不要；
旧型の当社製品と互換性あり（取り付け寸法、性能交換可能）、既存設備のアップグレードが容易；
高強度アーム・第3関節部は3kgの力に耐えられる（手首機構モジュール、指、ウェーハの質量含む）；
ロボットアーム標準アーム長：100mm、130mm、160mm、200mm；
設備レイアウトに応じてベース固定方式またはフランジ固定方式を選択可能；
ベルヌーイ方式の指（オプション）を選択可能。
製品仕様
| 使用環境 | クリーンルーム内の大気環境 |
| 腕 | 両腕 |
| 到達距離 | 315mm（腕の第3関節中心到達距離） |
| 昇降軸最大行程 | 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm |
| 搬送可能質量 | 3kg（腕の第3関節基準） |
| 製品型番 | 昇降軸最大行程 |
| STCR4160SN-200-CM | 200mm |
| STCR4160SN-300-CM | 300mm |
| STCR4160SN-400-CM | 400mm |
| STCR4160SN-450-CM | 500mm |
| STCR4160SN-500-CM | 600mm |
製品の利点
適用分野
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