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製品概要
製品の特徴
JEL GCR4210ウェーハロボットアームの特徴：
超クリーンルーム用多軸型、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-AMシリーズ；
300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適用；
ロボットアーム標準アーム長：210mm、280mm；
ロボットアームは単独で2つのFOUPに対応可能；
装置の要求に応じてベース固定方式またはフランジ固定方式を選択可能；
動作モニターを装備；
制御通信方式：RS232CおよびパラレルI/O方式；
全軸に絶対値エンコーダ仕様のACサーボモーターを採用；
S字曲線加減速制御方式により高速・高精度でガラス基板を搬送可能；
ACサーボモーターの採用と運動軌跡の最適化により搬送動作の高速化を実現；
GHR4000タイプに比べ速度が1.8倍速くなった；
ウェーハ固定方式：真空吸着式、下支え式、エッジクランプ式、ベルヌーイ非接触式；
指の材質：CFRP（炭素繊維）、アルミ合金、高純度セラミックスなど多様な材質を選択可能；
搬送物の種類や装置レイアウトなどの要求に応じて指を提供可能。
製品仕様
| 使用環境 | クリーンルーム内の大気環境 |
| 腕 | 単腕 |
| 到達距離 | 400mm（腕の第3関節中心からの到達距離） |
| 昇降軸最大行程 | 300mm / 400mm / 500mm |
| 搬送可能質量 | 4kg（腕の第3関節基準） |
| 製品型番 | 昇降軸最大行程 |
| GCR4210-300-AM | 300mm |
| GCR4210-320-AM | 320mm |
| GCR4210-500-AM | 500mm |
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