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製品概要
製品の特徴
JEL GCR4280-300-AMウェーハロボットアームの特徴：
超クリーンルーム用多軸型、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-AMシリーズ；
300mm対応の半導体製造装置内、検査装置などのウェーハ搬送に適用；
ロボットアームは単独で3つのFOUPに対応可能；
装置の要求に応じて、ベース固定方式またはフランジ固定方式を選択可能；
動作モニターを装備：
全軸に絶対値エンコーダ仕様のACサーボモーターを採用；
S字曲線加減速制御方式により、高速かつ高精度でガラス基板を搬送可能；
指の材質：CFRP（炭素繊維）、アルミ合金、高純度セラミックなど多様な材質を選択可能；
搬送物の種類や装置のレイアウトなどの要求に応じて指を提供可能。
製品仕様
| 使用環境 | クリーンルーム内の大気環境 |
| 腕 | 片腕 |
| 到達距離 | 553mm（腕の第3関節中心到達距離） |
| 昇降軸最大行程 | 300mm |
| 搬送可能質量 | 4kg未満（腕の第3関節基準） |
| 製品型番 | 昇降軸最大行程 |
| GCR4280-300-AM | 300mm |
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