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製品概要
製品の特徴
全自動ウェーハ切膜機（真空）STK-7200Vの特徴：
ローラーなしの特殊真空設置技術（ローラー設置はオプション）；
輸入多軸ウェーハ搬送ロボットアームを装備；
より薄いウェーハの切膜貼り付けに対応可能；
ウェーハ位置と反りのインテリジェントフィードバック；
17インチタッチスクリーン液晶工業用コンピュータ制御；
貼膜動作：全自動フィルム引き伸ばしと貼り付け、廃膜回収；
詳細なパラメータが必要な場合は、お気軽にお問い合わせください。
製品仕様
STK-7200V 全自動ウェーハ真空マウンター仕様：
ウェーハサイズ:
直径：4インチ、5インチ、6インチ、8インチ。
ウェーハ厚さ:
80〜750μm。
ウェーハ材料:
Si、SiC。
ウェーハタイプ:
シングルフラット、ダブルフラット、またはVノッチ。
テープタイプ:
ブルーテープまたはUVテープ。
幅：230、300 mm、長さ：100 m；厚さ：0.05〜0.2 mm。
フレームタイプ:
6インチDISCOまたはK&S、8インチDISCOまたはK&S；または顧客指定。
マウンティング理論。
真空マウンティング。
ウェーハ配置精度:
X-Y：±0.1 mm Θ：±0.1°。
入力＆出力:
デュアル入力ウェーハカセット／シングル出力フレームカセット。
ESD制御:
ESDローラー／ESDウェーハチャック／ESDイオンブロワー。
ウェーハ搬送:
真空またはベルヌーイエンドエフェクター付き水平多軸ロボット。
カセット内のウェーハ位置および反りのインテリジェントマッピング。
ウェーハアライメント:
ウェーハアライメント用ファイバーセンサー。
制御ユニット:
17インチタッチパネルLCD搭載標準産業用PC／Windows O/S。
電源供給:
単相交流220 V、25A。
空気供給:
5.0 Kgf/cm2 CDA、150 L/min。
機械構造:
全アルミニウムプロファイル製。
寸法:
1750 mm（幅）× 1350 mm（奥行）× 1800 mm（高さ）。
正味重量:
870 Kg。
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