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製品概要
製品の特徴
STK-7200R_SINTAIKE全自動ウェーハ切断貼膜機（ローラー）特徴：
全自動ウェーハ/フレームの積み下ろし：
日本製輸入ウェーハ搬送ロボットアーム、ウェーハ位置合わせシステム；
全自動ウェーハ貼膜：
標準装備ESDテフロンメッキ接触ウェーハクランプ；
DBG工程対応：貼膜後にBG膜を剥がす；
貼膜動作：自動フィルム引き出しと貼り付け；
ウェーハステージ：汎用（一体型）テフロン静電防止コーティング接触式ステージ；またはシリコンステージ、またはセラミックステージ；
詳細なパラメータが必要な場合は、お気軽にお問い合わせください。
製品仕様
STK-7200R 全自動ウェーハローラーマウンター仕様：
ウェーハサイズ:
直径：6インチ、8インチ。
ウェーハ厚さ:
150〜725μm。
ウェーハ材料:
Si、SiC。
ウェーハタイプ:
シングルフラット、ダブルフラットまたはVノッチ。
テープタイプ:
ブルーテープまたはUVテープ。
幅：230、300 mm、長さ：100 m；厚さ：0.05〜0.2 mm。
フレームタイプ:
6インチ DISCOまたはK&S、8インチ DISCOまたはK&S；または顧客指定。
マウンティング理論。
ローラーマウンティング。
ウェーハ配置精度。
X-Y：±0.1 mm Θ：±0.1°。
入力＆出力:
デュアル入力ウェーハカセット／シングル出力フレームカセット。
ESD制御:
ESDローラー／ESDウェーハチャック／ESDイオンブロワー。
ウェーハ搬送:
真空またはベルヌーイエンドエフェクター付き水平多軸ロボット。
カセット内のウェーハ位置および反りのインテリジェントマッピング。
ウェーハアライメント:
ウェーハアライメント用ファイバーセンサー。
制御ユニット:
17インチタッチパネルLCD搭載標準産業用PC／Windows O/S。
電源供給:
単相交流220 V、25A。
空気供給:
5.0 Kgf/cm2 CDA、150 L/min。
機械構造:
全アルミニウムプロファイル製。
寸法:
1750 mm（幅）× 1350 mm（奥行）× 1800 mm（高さ）。
正味重量:
870 Kg。
製品の利点
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