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製品概要
製品の特徴
STK-7120 半自動ウェーハ切断貼膜機の特徴：
卓上型：
8インチ＆12インチウェーハに適用；
操作が簡単；
STK-7120 半自動ウェーハ切断貼膜機の性能：
ウェーハ歩留まり：
≥99.9％；
貼膜品質：
気泡なし（ほこり粒子の気泡は除く）；
毎時生産能力：
≥80枚のウェーハ；
MTBF：
＞168時間；
MTTR：
＜1時間；
停止時間：
＜3％；
製品交換時間：
≤5分。
製品仕様
STK-7120 半自動ウェーハ切断貼膜機の仕様パラメータ：
ウェーハサイズ：
8インチ＆12インチウェーハ；
ウェーハ厚さ：
100～750マイクロメートル；
ウェーハの種類：
シリコン、ガリウム砒素またはその他の材料；
フィルムの種類：
ブルーフィルムまたはUVフィルム（接着力≤8N/20mm）；
幅：300～400ミリメートル；
長さ：100メートル；
厚さ：0.05～0.2ミリメートル；
ウェーハ保持リング：
8インチ、12インチDISCO標準；
貼膜の原理；
静電気防止ローラー貼膜、ローラー圧力調整可能；
貼膜動作；
自動フィルム引き出しと貼り付け；
ウェーハステージ：
汎用（一体型）テフロン静電防止コーティング接触式ステージ；
ステージ加熱可能：室温～100℃；
ステージ手動昇降；
装卸方法：
ウェーハ／保持リング手動設置および取り出し；
静電気防止制御：
静電気防止テフロンコーティングウェーハステージ／静電気防止貼膜ローラー／除電イオンファン；
切断システム：
手動軌跡式円形カッターおよび直線カッター；
位置決め方式：
ウェーハ空気圧ピン位置決め／保持リングスプリングピン位置決め；
制御ユニット：
PLC制御ベース、7インチタッチスクリーン付き；
安全保護：
緊急停止ボタン装備；
電源電圧：
単相交流220V、10A；
圧縮空気：
5kgの清浄乾燥圧縮空気、流量100リットル／分；
機械外装：
白色粉体塗装金属外装；
サイズ：
670ミリメートル（幅）×1180ミリメートル（奥行）×1000ミリメートル（高さ）；
正味重量：
140キログラム。
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