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半自動ウェーハ薄化前貼膜機(Wafer Taper)

SINTAIKE

STK-6020


半自動ウェーハ薄化前貼膜機(Wafer Taper)
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製品ビデオ

製品概要

STK-6020 半自動ウェーハ薄膜前貼り機の特徴:

卓上型;

4インチ~8インチのウェーハに適用;

操作が簡単;

STK-6020 半自動ウェーハ薄膜前貼り機の性能:

ウェーハ歩留まり;

≥99.9%;

剥離品質;

気泡なし(ほこり粒子の気泡は除く);

毎時生産能力:

≥80枚のウェーハ;

MTBF:

>168時間;

MTTR:

<1時間;

停止時間:

<3%;

製品交換時間:

≤5分。

 

製品の特徴

製品仕様

STK-6020半自動ウェーハ薄膜貼付機の仕様パラメータ:

ウェーハサイズ:

4インチ~8インチウェーハ;

ウェーハ厚さ:

300~750マイクロメートル;

ウェーハ種類:

シリコン、ガリウム砒素またはその他の材料;

フィルム種類:

ブルーフィルムまたはUVフィルム(粘着力≤8N/20mm);

幅:120~240ミリメートル;

長さ:100メートル;

厚さ:0.05~0.2ミリメートル;

貼付原理;

静電防止ローラー貼付、ローラー圧力調整可能;

貼付動作:

自動フィルム引き出しと貼付;

ウェーハステージ:

汎用(一体型)テフロン静電防止コーティング接触式ステージ;

ステージ加熱可能:室温~100℃;

ステージ手動昇降;

装卸方法:

ウェーハ手動設置および取り出し;

静電防止制御;

静電防止テフロンコーティングウェーハステージ/静電防止フィルム貼付ローラー/除電イオンファン;

切断システム:

直切り刃と環状切り刃、8インチは切断Vノッチ機能なし、切断刃加熱可能:室温~120℃;

ウェーハ位置決め;

空気圧ピン位置決め;

制御ユニット;

PLC制御ベース、5.7インチタッチスクリーン付き;

安全保護:

緊急停止ボタン装備;

電源電圧:

単相交流220V、10A;

圧縮空気:

5kgの清浄乾燥圧縮空気、流量100リットル/分;

機械外装:

白色粉体塗装金属外装;

サイズ:

670ミリメートル(幅)×1180ミリメートル(奥行)×1000ミリメートル(高さ、ライト含む);

正味重量:

140キログラム。

 

製品の利点

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