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製品概要
製品の特徴
STK-5020 半自動ウェーハ薄膜剥離機の特徴：
卓上型：
4インチ～8インチのウェーハに適用；
操作が簡単；
STK-5020 半自動ウェーハ薄膜剥離機の性能：
ウェーハ歩留まり：
≥99.9％；
剥離品質：
割れ片なし；
毎時生産能力：
≥80枚のウェーハ；
MTBF（平均故障間隔）：
＞168時間；
MTTR（平均修理時間）：
＜1時間；
停止時間：
＜3％；
製品交換時間：
≤5分。
製品仕様
STK-5020 半自動ウェーハ薄膜剥離機の仕様パラメータ：
ウェーハサイズ：
4インチ～8インチウェーハ；
ウェーハ厚さ：
150～750マイクロメートル；
ウェーハの種類：
シリコン、ガリウム砒素またはその他の材料；
剥離テープの種類；
剥離テープ：
幅：38～100ミリメートル；
長さ：100メートル；
剥離角度：
45度未満、かつ5°～45°で調整可能；
ウェーハステージ：
汎用（一体型）テフロン帯電防止コーティング接触式ステージ；
ステージ加熱可能：室温～100℃；
装卸方法：
ウェーハの手動設置および取り出し；
帯電防止制御：
テフロン帯電防止コーティング接触式ステージ；静電気除去イオンファン；
ウェーハ位置決め：
空気圧ピン位置決め；
制御ユニット：
PLC制御ベース、7インチタッチスクリーン搭載；
駆動ユニット：
サーボモータ駆動；
安全保護：
緊急停止ボタン装備；
電源電圧：
単相交流220V、10A；
圧縮空気：
5kgの清浄乾燥圧縮空気、流量毎分100リットル；
機械外装：
白色粉体塗装金属外装；
サイズ：
670ミリメートル（幅）×1180ミリメートル（奥行）×1000ミリメートル（高さ、ライト含む）；
正味重量：
125キログラム。
製品の利点
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