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製品概要
製品の特徴
据え置き型ウェーハ貼膜機 STK-6050 高度半自動ウェーハ薄膜貼り機の特徴：
特許設計の柔軟なローラー貼膜、自動フィルム引き、自動貼り付け；
スプリングナイフ自動切断システム、自動フィルムカット、廃フィルム回収；
4インチ～8インチのウェーハ、シリコン、炭化ケイ素、ガリウム砒素、サファイア、ガラスなどに適用。
据え置き型ウェーハ貼膜機 STK-6050 高度半自動ウェーハ薄膜貼り機の性能：
ウェーハ収率：
≥99.9％；
貼膜品質：
気泡なし（ほこり粒子の気泡は除く）；
毎時生産能力：
≥75枚のウェーハ；
MTBF:
>168時間；
MTTR:
<1時間；
停止時間:
<3％；
製品交換時間：
≤10分。
製品仕様
STK-6050 据え置き型高級自動ウェーハ薄膜貼付機のパラメータ：
ウェーハ直径：
4インチ・8インチウェーハ；
ウェーハ厚さ：
300～750マイクロメートル；
ウェーハ種類：
シリコン、ガリウム砒素またはその他の材料；
フィルム種類：
ブルーフィルムまたはUVフィルム（接着力≤8N/20mm）；
幅：120～240ミリメートル；
長さ：100メートル；
厚さ：0.05～0.2ミリメートル；
貼付原理：
静電防止ローラー貼付、ローラー圧力調整可能；
ウェーハステージ：
汎用（一体型）テフロン静電防止コーティング接触式ステージ；
ステージ加熱可能：室温～100℃；
ステージ手動昇降：
装着・取り外し方式；
ウェーハ手動設置および取り出し；
静電防止制御：
静電防止テフロンコーティングウェーハステージ／静電防止貼付ローラー／除電イオンファン；
切断システム：
自動切断刃、8インチ無切断Vノッチ機能、切断刃加熱可能：室温～120℃；
切断刃寿命管理：
廃フィルム処理；
自動回収；
貼付精度：
X-Y:±0.5mm；θ:±0.5；
ウェーハ位置決め：
空気圧ピン位置決め；
制御ユニット：
PLC制御、10.1インチタッチスクリーン；
安全保護：
安全光幕と緊急停止スイッチを装備；
電源電圧：
単相交流220V、16A；
圧縮空気：
圧縮空気：5kgの清浄乾燥圧縮空気、流量100リットル/分；
サイズ：
850ミリメートル（幅）×1450ミリメートル（奥行）×1700ミリメートル（ライト高さ除く）；
正味重量：
450キログラム。
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