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製品概要
製品の特徴
STK-6150 据え置き型高級自動ウェーハ薄膜貼付機の特徴：
特許設計の柔軟なローラー貼付
スプリングナイフシステム
8インチ～12インチウェーハ対応
STK-6150 据え置き型高級自動ウェーハ薄膜貼付機の性能：
ウェーハ歩留まり
≥99.9%
貼膜品質
気泡なし（ほこり粒子の気泡は除く）
毎時生産能力
≥ 75枚のウェーハ
MTBF（平均故障間隔）
'>168時間'
MTTR（平均修理時間）
<1時間
停止時間
<3%
製品交換時間：
≤ 10分
製品仕様
STK-6150 据え置き型高級自動ウェーハ薄膜貼付機 仕様パラメータ：
ウェーハサイズ
8インチ～12インチウェーハ
ウェーハ厚さ
300～750マイクロメートル
ウェーハ種類
シリコン、ガリウム砒素またはその他の材料
フィルム種類
ブルーフィルムまたはUVフィルム（接着力≤8N/20mm）
幅：240～340ミリメートル
長さ：100メートル
厚さ：0.05～0.2ミリメートル
貼付原理
静電防止ローラー貼付、ローラー圧力調整可能
ウェーハステージ
汎用（一体型）テフロン静電防止コーティング接触式ステージ
ステージ加熱可能：室温～100℃
ステージ手動昇降
装卸方法
ウェーハ手動設置および取り出し
静電防止制御
静電防止テフロンコーティングウェーハステージ／静電防止貼付ローラー／除電イオンファン
切断システム
自動切断刃、8インチ＆12インチ無切断Vノッチ機能、切断刃加熱可能：室温～120℃
切断刃寿命管理
廃膜処理
自動回収
貼付精度
X-Y:±0.5mm；θ:±0.5°
ウェーハ位置決め
空気圧ピン位置決め
制御ユニット
PLC制御、10.1インチタッチスクリーン搭載
安全保護
安全光幕と緊急停止ボタン装備
電源電圧
単相交流220V、16A
圧縮空気
5kgの清浄乾燥圧縮空気、流量100リットル/分
機械外装
白色粉体塗装金属外装
サイズ
850ミリ（幅）×1450ミリ（奥行）×1700ミリ（ライト高さ含まず）
正味重量
475キログラム
製品の利点
適用分野
おすすめ製品
よくある質問
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販売拠点
服务网点
香港会社
HAPOIN ENTERPISE LIMITED
住所：Unit 917A, 9/F.,Tower A,New Mandarin Plaza,No.14 Science Museum R
電話番号：+00852 61187991
メールアドレス：sales@hapoin.com
昆山営業センター
上海衡鵬企業--昆山営業センター
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本社所在地
上海市閔行区金都路1165弄南方都市園6号楼
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