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製品概要
製品の特徴
STK-7080半自動ウェーハ真空貼膜機の特徴：
ローラーなしの真空貼膜：
自動フィルム供給；
自動真空貼膜；
自動切断、廃フィルム回収、分離紙回収；
光幕保護機能と緊急停止ボタンを装備；
STK-7080半自動ウェーハ真空貼膜機の性能：
ウェーハ歩留まり：
≥99.9％；
貼膜品質：
気泡なし（ほこり粒子の気泡は除く）；
毎時生産能力：
≥60枚のウェーハ；
MTBF：
＞500時間；
MTTR：
＜1時間；
停止時間：
＜3％。
製品仕様
STK-7080半自動ウェーハ真空貼膜機の仕様パラメータ：
ウェーハ直径：
4インチ〜8インチ；
ウェーハ厚さ：
100〜750マイクロメートル；
ウェーハ種類：
シリコン、炭化ケイ素、ガリウム砒素；
フィルム種類：
ブルーフィルムまたはUVフィルム；
幅：230〜300ミリメートル；
長さ：100メートル；
厚さ：0.05〜0.2ミリメートル；
ウェーハ保持リング：
6インチ、8インチDISCO；
装卸方法：
手動でウェーハ/保持リングの設置と取り出し；
貼膜位置決め精度：
±0.5mm；標準6インチ、8インチウェーハテーブルは6インチ、8インチウェーハ用；
真空ポンプ：
ULVACアイファコ；
静電気防止制御：
イオン風ファン；
制御ユニット：
PLC制御ベース、10インチタッチスクリーン付き；
安全保護：
光幕保護と緊急停止ボタンを装備；
電源電圧：
単相交流220V、16A；
圧縮空気：
0.45〜0.6MPa、流量70L/分；
機械外装：
白色粉体塗装金属外装；
真空供給：
高真空供給装置、真空室に真空を供給；
サイズ：
950ミリメートル（幅）×1300ミリメートル（奥行）×1800ミリメートル（高さ）；
正味重量：
480キログラム。
製品の利点
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