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製品概要
製品の特徴
ウェーハ貼膜機 STK-7150 据え置き型高級半自動切断貼膜機の特徴：
据え置き型で、8-12インチのシリコンウェーハ、炭化ケイ素、ガリウム砒素、サファイア、ガラスなどの素材に適用；
自動切断刃、自動切断膜、自動廃膜回収；
自動膜引き、自動貼膜、空環/フレームの貼付が可能；
ウェーハ貼膜機 STK-7150 据え置き型高級半自動切断貼膜機の性能：
ウェーハ歩留まり：
≥99.9%；
剥離膜の品質：
気泡なし（ほこり粒子の気泡は除く）；
毎時生産能力：
≥ 70枚のウェーハ；
MTBF：
'>168時間；'
MTTR：
<1時間；
停止時間：
<3%；
製品交換時間：
≤ 10分。
製品仕様
ウェーハ貼膜機 STK-7150 据え置き型高級半自動切断貼膜機 仕様パラメータ：
ウェーハ直径：
8インチ、12インチウェーハ；
ウェーハ厚さ：
100～750マイクロメートル；
ウェーハ種類：
シリコン、ガリウム砒素またはその他の材料；
フィルム種類：
ブルーフィルムまたはUVフィルム（接着力≤8N/20mm）；
幅：300～400ミリメートル；
長さ：100メートル；
厚さ：0.05～0.2ミリメートル；
ウェーハ保持リング：
8インチ、12インチDISCO標準；
貼膜原理：
静電防止ローラー貼膜、ローラー圧力調整可能；
ウェーハテーブル：
汎用（一体型）テフロン静電防止コーティング接触式テーブル；
テーブル加熱可能：室温～100℃；
テーブル手動昇降；
装卸方法：
ウェーハ／保持リング手動設置および取り出し；
静電防止制御：
静電防止テフロンコーティングウェーハテーブル／静電防止貼膜ローラー／除電イオンファン；
切断システム：
環状カッターは8インチ、12インチDISCO保持リング用；
廃フィルム処理：
自動回収；
貼膜精度：
X-Y:±0.5mm；θ:±0.5°；
位置決め方式：
ウェーハ空気圧ピン位置決め／保持リングスプリングピン位置決め；
制御ユニット：
PLC制御、10.1インチタッチスクリーン搭載；
安全保護：
光幕保護および緊急停止ボタン装備；
電源電圧：
単相交流220V、16A；
圧縮空気：
5kgの清浄乾燥圧縮空気、流量100リットル/分；
機械外装：
白色粉体塗装金属外装；
サイズ：
850ミリ（幅）×1450ミリ（奥行）×1700ミリ（ライト高さ含まず）；
正味重量：
485キログラム。
製品の利点
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