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製品概要
製品の特徴
STK-7050 据え置き型半自動ウェーハ切断貼膜機の特徴：
据え置き型高級ウェーハ切断貼膜機；
自動フィルム引き出し、貼り付け、切断、廃フィルム回収、分離紙回収；
気泡なしで貼り付け可能、空リングにも貼り付け可能；
STK-7050 据え置き型半自動ウェーハ切断貼膜機の性能：
ウェーハ収率：
≥99.9％；
フィルム剥がし品質：
気泡なし（ほこり粒子の気泡は除く）；
毎時生産能力：
≥75枚のウェーハ；
MTBF：
>168時間；
MTTR：
<1時間；
停止時間：
<3％；
製品交換時間：
≤10分；
詳細資料が必要な場合は、お問い合わせください。
製品仕様
STK-7050 据え置き型自動ウェーハ切断貼膜機の仕様パラメータ：
ウェーハサイズ：
4インチ～8インチウェーハ；
ウェーハ厚さ：
100～750マイクロメートル；
ウェーハ種類：
シリコン、ガリウム砒素またはその他の材料；
フィルム種類：
ブルーフィルムまたはUVフィルム（粘着力≤8N/20mm）；
幅：210～300ミリメートル；
長さ：100メートル；
厚さ：0.05～0.2ミリメートル；
ウェーハキャリアリング：
6インチ、8インチDISCO標準；
貼膜原理：
静電防止ローラー貼膜、ローラー圧力調整可能；
ウェーハステージ：
汎用（一体型）テフロン静電防止コーティング接触式ステージ；
ステージ加熱可能：室温～100℃；
ステージ手動昇降；
装卸方式：
ウェーハ／キャリアリング手動設置および取り出し；
静電防止制御：
静電防止テフロンコーティングウェーハステージ／静電防止貼膜ローラー／除電イオンファン；
切断システム：
環状カッターは6インチ、8インチDISCOキャリアリング用；
廃フィルム処理：
自動回収；
貼膜精度：
X-Y:±0.5mm；θ:±0.5°；
位置決め方式：
ウェーハ空気ピン位置決め／キャリアリングスプリングピン位置決め；
制御ユニット：
PLC制御ベース、10.1インチタッチスクリーン搭載；
安全保護：
光幕保護および緊急停止ボタン装備；
電源電圧：
単相交流220V、16A；
圧縮空気：
5kgの清浄乾燥圧縮空気、流量100リットル／分；
機械外装：
白色粉体塗装金属外装；
サイズ：
850ミリ（幅）×1450ミリ（奥行）×1700ミリ（ライト高さ含まず）；
正味重量：
460キログラム。
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