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製品概要
製品の特徴
MBE装置 MBE-260 概要：
このMBE装置は超高真空装置であり、外部から導入されたレーザーを真空中で励起し、材料を基板上に堆積させることができます。
MBE装置 MBE-260 仕様パラメータ：
構成；
仕様；
処理室および真空排気システム；
チャンバーシャープ；
φ260mm 球状SUS；
到達真空度；
6.7×10⁻⁷Pa未満（5×10⁻⁹Torr）；
セラミックベアリング；
ターボポンプ；
250L/s；
ターゲット回転ユニット；
φ20mm×6軸；
回転／公転モータードライブ（PC制御）；
基板加熱ユニット；
赤外線ランプ基板加熱ユニット（半導体レーザー基板加熱ユニットに変更可能）；
laser substrate heating unit)；
基板サイズ；
10mm；
最大；
加熱温度；
800℃以上；
共通仕様；
電源／制御ラック（JIS規格準拠）一体型チャンバーフレーム；
PLD自動制御システム（PCおよび制御ソフトウェア）。
製品仕様
製品の利点
適用分野
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販売拠点
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香港会社
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電話番号：+00852 61187991
メールアドレス：sales@hapoin.com
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本社所在地
上海市閔行区金都路1165弄南方都市園6号楼
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