衡鵬企業グループは

複合PLDデバイス

MITO DENKO

PLD-M


複合PLDデバイス
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製品概要

製品の特徴

複合PLD装置PLD-Mの特徴紹介:

非常に豊富な販売経験に基づいて設計されており、安定した運転が可能です;

他のスパッタリング源や堆積源と組み合わせることができます;

最大φ2インチの大径基板に対応し、φ2インチの専用ランプを採用することで、広範囲の圧力条件下で実験が可能です;

多様なオプションを選択可能で、大面積PLDに取り付けることで、最大φ2インチの基板に均一な分布を提供するオプションがあります。

 

製品仕様

製品の利点

適用分野

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