衡鵬企業グループは

分子ビーム蒸発源

MITO DENKO

SOURCE-1250


分子ビーム蒸発源
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製品概要

製品の特徴

分子ビーム蒸発源SOURCE-1250の特徴紹介:

分子ビーム蒸発源は、超高真空中でMBE成長の薄膜を作製するために使用されます;

オープンタイプの蒸発源で、分子ビーム放射時のガス排出をできるだけ減らすように設計されています;

取り付けフランジ:ICF070・114など;

温度制御:PID制御によるMax1250。

製品仕様

分子ビーム蒸発源 SOURCE-1250 の仕様:

(1)坩堝容量:約10cc(リップエッジ約15mm×57mm);

(2)坩堝材料:PBN;

(3)加熱器:高純度Ta線巻き;

(4)側面反射板:5層高純度Ta;

(5)加熱素子支持ベース:高純度Mo;

(6)熱電対:Pr13;

(7)加熱素子の外形寸法はφ35×50mm;

(8)作業温度範囲:300°C~1250°C;

(9)ブラインドの開閉はマイクロフランジの回転導入機で行う(標準は手動、空気駆動はオプション);

(10)取り付けフランジ:114CF(4.5インチCF);

(11)加熱電源:1kW直流電源、電流および電圧制限あり;

(12)温度コントローラー:PID制御方式、RT~1800°C、制御精度最大0.1°C;

(13)最高ベーキング温度:250°C(ケーブルと空気駆動装置を取り外した後)。

製品の利点

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