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全自動ウェーハ反転機 ウェーハ搬送機

STK

3300


全自動ウェーハ反転機 ウェーハ搬送機
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製品ビデオ

製品概要

100〜300mmのウェーハ搬送に使用可能:
8インチ、12インチのウェーハに適用;
ISOクラス1のクリーン度を満たす;
モジュール設計でメンテナンスコストが低い;
装置の構造がコンパクトで占有面積が小さい;
装置はSEMIS2およびSEMIF47規格に準拠;
顧客のニーズに応じてFAのカスタム開発が可能;
Vacuum、Passive、Gripper、BernouliロボットEEのオプション装備可能;
高度にカスタマイズ可能で、顧客のニーズに応じた非標準カスタムが可能。

製品の特徴

製品仕様

製品の利点

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