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製品概要
製品の特徴
150mm/200mmウェーハの搬送に使用可能。
6インチ、8インチウェーハに対応。
ISOクラス1のクリーン度を満たす。
モジュール設計で、メンテナンスコストが低い。
装置の構造がコンパクトで、占有面積が小さい。
装置はSEMLS2およびSEMLF47規格に準拠。
顧客のニーズに応じてFAのカスタム開発が可能。
Vacuum、Passive、Gripper、BernouliロボットアームEEのオプション装備が可能。
高度にカスタマイズ可能で、顧客のニーズに応じた非標準カスタムが可能。
製品仕様
製品の利点
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住所：Unit 917A, 9/F.,Tower A,New Mandarin Plaza,No.14 Science Museum R
メールアドレス：sales@hapoin.com
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上海市閔行区金都路1165弄南方都市園6号楼
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