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製品概要
製品の特徴
静電チャック製品の特徴：
用途：フォトリソグラフィ工程、エッチング工程、薄膜堆積工程、イオン注入工程；
材質：
1. 表面セラミック材料：窒化アルミニウムセラミック、酸化アルミニウムセラミック；
2. 電極材料：通常は銅、アルミニウムなどの金属材料を使用し、耐腐食性および耐高温性の金属または合金のコーティングが施されることもある；
サイズ：4インチ、6インチ、8インチ、12インチのウェーハに対応。
製品仕様
製品の利点
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販売拠点
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香港会社
HAPOIN ENTERPISE LIMITED
住所：Unit 917A, 9/F.,Tower A,New Mandarin Plaza,No.14 Science Museum R
電話番号：+00852 61187991
メールアドレス：sales@hapoin.com
昆山営業センター
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上海市閔行区金都路1165弄南方都市園6号楼
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