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半導体キャビティ構造部品

HAPOIN

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製品概要

製品の特徴

HAPOIN 半導体キャビティ構造部品の概要:

用途:

半導体PVD、CVD、ETCHキャビティの重要部品;

製品の優位性:

耐腐食性、絶縁性、耐プラズマ性;

材料の純度:

99.7%、99.8%、99.9%酸化アルミニウム;

寸法仕様:

円盤直径φ650mm(長さ2000mm)以内であれば加工可能;

加工タイプ:

等方圧プレス成形、焼結、精密加工など;

精度範囲:

寸法公差±0.01mm;平面度最大0.002mm、粗さRa0.2。

 

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