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製品概要
製品の特徴
JELウェーハキャリブレーターSAL38C3HVの特徴：
200-300 mmのウェーハに適用可能；
シリコンウェーハ、BGテープ（乳白色）付きシリコンウェーハ、透明、半透明ウェーハなど異なる材質のウェーハの位置校正に対応；
独自開発の画像認識センサーを使用し、コントローラーとモータードライバーを装置本体内部に統合した一体型設計を採用；
ウェーハのサイズや材質に応じてスピンドルの直径、形状、材質を変更可能で、ベルヌーイ吸着方式を使用可能；
制御方式：シリアルRS232Cまたはパラレル光学I/Oポート；
SEMI規格に適合しないノッチや欠け形状もカスタム設計可能；
スピンドルにZ軸を追加し、ウェーハの昇降要求に対応可能；
ウェーハの再掴み動作に対してZ軸の選択設定を行う；
詳細なパラメータが必要な場合は、お気軽にお問い合わせください。
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