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製品概要
TDM–LS（大スケール）平面度／平坦度／平整度／反り測定器／反り解析:
TDM–LS（大スケール）は、プロセス開発、故障解析、信頼性、品質管理の分野で幅広い用途に対応する多機能機器です。反り測定の既存のニーズに対して完全な製品ソリューションを提供するために、TDM Large ScaleはTDM Compactを補完します。初代TDMは比較的小さな領域（最大150x150 mm）の表面解析用に設計されましたが、TDM Large Scaleは最大400x400 mmの領域の表面検査を可能にします。これにより、基板、ウェーハ、その他の大型物体の熱機械的解析が可能になります。
絶対3D地図作成
TDMは温度プロファイル下での反り解析のための特許取得済みツールです。TDMはフリンジプロジェクション技術（プロジェクションモアレとも呼ばれる）を使用し、非接触で全視野の3Dトポグラフィを1.5µmという高解像度で取得します。TDM-Compactは最大600 mm x 430 mmのデバイスの完全な絶対3D地図を取得します。同時に、その強力な加熱および冷却機能により、試料に対してほぼ任意の温度プロファイルを実現します。統合ソフトウェアパッケージは、結果を3Dプロット、ベクトル図、等角投影図、ユーザー定義のプロファイルライン（例：対角線プロット）に沿った2Dプロファイルとして表示するツールを提供します。
大きなサンプルサイズ対応:
リフロープロファイル適合性のための部品認証。
部品の硬化プロセス最適化。
JEITA-ED-7306、IPC-9641、JEDEC 22B112A、およびIPC/JEDEC J-STD-020D規格に準拠した部品およびPCBの特性評価。
高速エージングテストプロファイル、ON/OFFサイクルなど。
大スケールの利点:
優れた温度均一性のための独立制御可能な上下ヒーターバンク。
高速加熱および冷却ランプ。
微細特徴解析（例：はんだボール／バンプ、リード、ピンなどの測定）およびより正確な反り測定のための超高解像度カメラ。
簡単なサンプル装填のためのサンプルドロワー。
製品の特徴
製品仕様
| イメージング : | 直接サンプル照明、非接触測定 |
| 機能 : | トポグラフィ解析：温度のz(x,y)関数 |
| 最大サンプルサイズ : | 600 mm x 430 mm |
| オーブンサイズ : | 400 mm x 400 mm |
| 視野 (x,y) : | 30 x 30 から 400 x 400 mmまで調整可能なズーム |
| 視野深さ (z) : | 最大25 mm |
| CCDカメラ解像度 : | 5 megapixel |
| 精度 : | ±1マイクロンまたは測定値の2％のいずれか大きい方 |
| (x,y) 解像度 : | 視野により15 μmから200 μmまで |
| 温度範囲 : | 室温から300°Cまで連続測定可能 |
| 加熱方法 : | 赤外線ランプ - 上下両面 |
| 加熱速度 : | 最大+2.5°C/秒（サンプル依存） |
| 冷却方法 : | 内部換気 |
| 冷却速度 : | 120°C以上で最大-2°C/秒 |
| 設置面積 : | 200 cm x 150 cm x 250 cm |
| 重量（約） : | 500 kg |
| ユーティリティ : | 電力：380 VAC、50 Hz、3相、排気量2000m3/h。 |
製品の利点
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