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製品概要
TDM–Compact加熱反り試験機／反り解析:
TDM–Compactは、プロセス開発、故障解析、信頼性、品質管理の分野で幅広い用途に対応する多機能機器です。
絶対3D地図作成
TDMは温度プロファイル下での反り解析のための特許取得済みツールです。TDMはフリンジ投影技術（プロジェクションモアレとも呼ばれる）を使用し、非接触で全視野の3Dトポグラフィを0.5μmという高解像度で取得します。TDM-Compactは最大310 mm x 230 mmのデバイス（視野は最大150 mm x 150 mm）について完全な絶対3D地図を取得します。同時に、その強力な加熱および冷却機能により、試験対象サンプルに対してほぼ任意の温度プロファイルを実現します。統合ソフトウェアパッケージは、結果を3Dプロット、ベクトル図、等角図、ユーザー定義のプロファイルライン（例：対角線プロット）に沿った2Dプロファイルとして表示するツールを提供します。
製品の特徴
製品仕様
| イメージング : | 直接サンプル照明、非接触測定 |
| 機能 : | トポグラフィ解析：温度のz(x,y)関数 |
| 最大サンプルサイズ : | 310 mm x 230 mm |
| オーブンサイズ : | 150 mm x 150 mm |
| 視野 (x,y) : | 30 x 30 から 150 x 150 mm まで連続ズーム |
| 視野深度 (z) : | 最大 25 mm |
| CCDカメラ解像度 : | 5 megapixel |
| 精度 : | ±1ミクロンまたは測定値の2％のいずれか大きい方 |
| (x,y) 解像度 : | 視野に応じて15 μmから75 μmまで |
| 温度範囲 : | 室温から300°Cまで連続 |
| 加熱方法 : | 赤外線ランプ - 上下両方 |
| 加熱速度 : | 最大 +3°C/秒（サンプル依存） |
| 冷却方法 : | パルス空気の調整流量 |
| 冷却速度 : | 120°C以上で最大 -2°C/秒 |
| 設置面積 : | 140 cm x 120 cm x 245 cm |
| 重量（約） : | 330 kg |
| ユーティリティ : | 電力 : 230 VAC、50 Hz、単相。 圧縮空気 : 6バール。 |
製品の利点
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